Speaker
Сергій Михайлович Серебреніков
(Київський національний університет імені Тараса Шевченка, факультет радіофізики, електроніки та комп’ютерних систем, кафедра радіотехніки та радіоелектронних систем, студент)
Abstract
В роботі запропоновано використати Оже-електронну спектрометрію для проведення реверс-інжинірингу в галузі напівпровідникової електроніки. Проведено аналіз схемотехнічних рішень, використаних у вимірювальному обладнанні Оже-спектрометра 09-ІОС3 та запропоновано шляхи його модернізації з використанням сучасної елементної бази.
Primary authors
Ігор Іванович Бех
(Київський національний університет імені Тараса Шевченка, факультет радіофізики, електроніки та комп'ютерних систем, кафедра радіотехніки та радіоелектронних систем)
Сергій Михайлович Серебреніков
(Київський національний університет імені Тараса Шевченка, факультет радіофізики, електроніки та комп’ютерних систем, кафедра радіотехніки та радіоелектронних систем, студент)
Іван Миколайович Ткаченко
(Київський національний університет імені Тараса Шевченка, факультет радіофізики, електроніки та комп’ютерних систем, кафедра радіотехніки та радіоелектронних систем, студент)
